okamoto冈本半自动CMP化学机械抛光机

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面议
所属行业:
* 减薄设备及耗材
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最后更新:
2016-11-29 17:59
  • 公司名称:
  • 联 系 人:吉永商事(女士) 经理
  • 联系固话:021-58210030
  • 联系地址:上海市松江区城隆路629弄3号522室
  • 公司网址:http://www.prosrun.com
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产品详细说明

  • 品牌: OKAMOTO
  • 型号: spp600s
  • 包装: 标准
  • 规格: 1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)
  • 起订:1 台
  • 供货总量:1000 台
  • 发货期限: 自买家付款之日起 100 天内发货
  • 所在地: 上海 上海
  • 有效期至: 长期有效




一、设备概要:

365bet体育彩票1.?SPP-600S?是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便。


二、设备构成:

1.?抛光头:
????一个定盘,两个抛光头同时工作,可实现高的吞吐量;
????可独立编程(包括转速)并单独控制每个抛光头;
????夹紧机构为真空吸附固定或利用晶圆表面张力进行固定;
????装备有保护圈以保证均匀性和边缘轮廓;
?????抛光压力基于实时监控;
?????具有摆动功能;
2.?定盘:
????水冷系统可保证稳定运行
3.?修整主轴:
????装有专用修整头;
????修整压力靠头的自重;
4.?外壳:
???全密封;
????安全互锁门;
5.?触摸屏:
9.5?寸全彩屏;
GUI?操作面板;
4?级程序控制;
6.?供液单元:
????使用罗拉泵可实现稳定供液。

?

三、设备指标:
1.?适用晶圆尺寸厚度晶圆尺寸:?3?-?8?英寸

2.?设备尺寸及重量尺寸:?1380?(W)?x?1210?(D)*?x?1873?(H)
3.?厂务条件电力要求:?10KVA,?200V,?3?Phase,?50/60?Hz
压缩空气压力:?≧5.0?Kg/cm2
去离子水压力:?1.0-1.5Kg/cm2
去离子水流量:?5?升/分钟
排气量:?3m3/分钟
冷却水(真空泵用):?压力:2.0Kg/cm2
流量:大于3?升/分钟
冷却水(抛光定盘冷
却系统用):
压力:2.0Kg/cm2
流量:大于3?升/分钟


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